FMA5400／5500系列電子氣體質(zhì)量流量控制器可控制流速在10 SCCM到1000 SLM范圍內(nèi)的多種氣體的流量。FMA5400／5500利用通過加熱管進行的熱傳遞直接測量氣體質(zhì)量流量，并且無需對（規(guī)定限值以內(nèi)）的氣體溫度或壓力變動進行補償。該產(chǎn)品提供用于測量普通氣體流量的經(jīng)濟型鋁質(zhì)／銅質(zhì)結(jié)構(gòu)，以及用于有更高耐腐蝕要求應(yīng)用場合的316不銹鋼結(jié)構(gòu)。不帶一體式顯示屏的FMA5400系列控制器具有0 ~ 5 Vdc和4 ~ 20 mA模擬輸出，以便進行遠(yuǎn)程監(jiān)測；FMA5500系列控制器兼具一體式3?位數(shù)字顯示屏和模擬輸出。顯示屏可傾斜90度，查看讀數(shù)時很方便，顯示屏還經(jīng)過校準(zhǔn)，可直接顯示以SCCM或SLM為單位的氮氣流速，可以通過專門訂購來獲得其它氣體校準(zhǔn)。
FMA5400／5500質(zhì)量流量控制器帶有內(nèi)置式電磁閥，無論入口或出口壓力如何變化，都能保持穩(wěn)定的流速。設(shè)定值可通過電位器（通過殼體上的窗口可調(diào)整該電位器）本地控制，或者可以通過0 ~ 5 Vdc或4 ~ 20 mA（現(xiàn)場可選）模擬信號遠(yuǎn)程控制。

FMA5400／5500系列控制器需要使用12 ~ 15 Vdc電源（最大電流800 mA），F(xiàn)MA545PW壁裝插接式插座電源可滿足其要求，24 Vdc電源輸入（最大電流650 mA）可作為選件提供。電子裝置具備反向極性保護，并配有自恢復(fù)保險絲。型號FMA545C （單獨提供）提供了一個帶2.4 m (8')屏蔽電纜的插接式15針"D"連接器，可用于模擬輸出信號和電源輸入連接。FMA5500系列控制器的LCD通過模塊化插頭與里面的電子設(shè)備相連。通過購買FMA18RC遠(yuǎn)程電纜組件可以遠(yuǎn)程安裝LCD，但是，您必須自行制作面板安裝組件以便進行LCD的面板安裝。 

規(guī)格:
精度： 滿量程的±1.5%，包括在15 ~ 25°C (59 ~ 77°F)以及0.7 ~ 4.2 kg/cm2 (10 ~ 60 psia)范圍內(nèi)的線性度；對于流量 =100 SLM的控制器，在0 ~ 20%量程范圍內(nèi)精度為滿量程的±3%
重復(fù)性： 滿量程的±0.5%
溫度系數(shù)： 滿量程的0.15%/°C
壓力系數(shù)： 每psi (0.07 bar)為滿量程的0.01%
最大壓降： 50 psid
響應(yīng)時間：在滿量程的25 ~ 100%范圍大約5秒達到設(shè)定流速的±2%內(nèi)
最大氣體壓力： 35 kg/cm2表壓(500 psig); 1.76 kg/cm2 (25 psig)最適宜
氣體和環(huán)境溫度： 5 ~ 50°C (41 ~ 122°F)
泄漏完整性： 對于外界環(huán)境，最大泄漏為1 x 10-7 cc/sec氦氣
接液材質(zhì)：
    鋁質(zhì)型號： 陽極氧化鋁、316不銹鋼、銅和氟橡膠O形圈
    不銹鋼型號： 316不銹鋼和氟橡膠O形圈
輸出信號：
    線性0 ~ 5 Vdc： 最小負(fù)載1000 V
    4 ~ 20 mA： 環(huán)路電阻為50 ~ 500 V，最大噪聲±20 mV
傳感器電源： 12 Vdc @ 800 mA
（標(biāo)配）; 24 Vdc @ 650 mA（可選）
量程比： 50:1
運輸重量： 1.8 kg (4 lb)
順從標(biāo)準(zhǔn)： EN55011 1類，B類；EN50082-1